討論公司位移精密平臺實(shí)驗(yàn)結(jié)果及數(shù)據(jù)分析

添加時(shí)間：2016-7-4 6:26:47 作者：浙江金科機(jī)械傳動有限公司

位移精密平臺固有頻率測試采用簡單易行、測試精度高的鋼球沖擊法,測試過程為:由壓電加速度傳感器測出鋼球?qū)弘娢庸ぷ髋_運(yùn)動部分的時(shí)間響應(yīng),電荷放大器將壓電加速度傳感器輸出的電荷信號轉(zhuǎn)換為電壓信號并進(jìn)一步放大,電荷放大器的輸出信號分為兩路,即
(1)輸入示波器,用于觀察信號的時(shí)域波形。
(2)輸入結(jié)構(gòu)動態(tài)分析儀,對時(shí)域信號進(jìn)行快速傅里葉變換(fft)分析,繪圖儀在結(jié)構(gòu)動態(tài)分析儀分析的同時(shí)繪出信號的頻譜。
位移精密平臺x、y向的固有頻率分別為1725 hz和1 296 hz。實(shí)際上,由于壓電加速度傳感器也具有一定的質(zhì)量,將產(chǎn)生負(fù)載效應(yīng),所以壓電微動工作臺的實(shí)際固有頻率要比上述測試結(jié)果略高。x向的固有頻率高于y向的固有頻率,其原因是x向的慣性質(zhì)量小于y向的慣性質(zhì)量。
有限元分析得到位移精密平臺的1階固有頻率為737hz,有限元分析結(jié)果與實(shí)驗(yàn)測量值相差較大,主要有3方面原因:
(1)線切割過程中的高溫對微動臺表面形成了淬火[5],增加了微動臺的剛度,提高了微動臺的固有頻率。
(2)加工過程中,工作臺內(nèi)部產(chǎn)生了殘余應(yīng)力[5],增加了工作臺的剛度,提高了固有頻率。
(3)線切割過程中在位移精密平臺加工表面形成凹坑和凸緣,與有限元分析的表面拋光的初始條件不同,這也是有限元分析與實(shí)驗(yàn)結(jié)果不一致的一個(gè)重要影響因素。